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Une première partie rappelle les notions de base de la technique du vide, les propriétés des basses pressions et les méthodes de production et de mesure du vide. Une seconde et une troisième partie traitent de la réalisation des couches minces et des couches dures par les divers procédés faisant appel au vide. Les applications de ces techniques sont : la microélectronique, l'optique, l'automobile...
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Une première partie rappelle les notions de base de la technique du vide, les propriétés des basses pressions et les méthodes de production et de mesure du vide. Une seconde et une troisième partie traitent de la réalisation des couches minces et des couches dures par les divers procédés faisant appel au vide. Les applications de ces techniques sont : la microélectronique, l'optique, l'automobile...
Auteur(s)
EAN
9782840460305
Format
Broché
Nombre de pages
471
Éditeur
In fine
Date de parution
1994-01-01
Poids
504
Dimensions
Collection
Série
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